编辑：秦佳男 审核领导：罗明 发布时间：2026年07月10日 17:52 点击：
一、项目名称：
“高精度EBL曝光单步工艺验证流片”外协
二、成交信息
供应商名称：西湖大学先进微纳加工与测试平台
供应商地址：杭州市西湖区转塘街道石龙山街18号
成交金额：8.0005（万元）
三、主要采购信息
序号
名称
外协项目内容
响应报价
1
1）绝缘衬底上亚微米精度电子束光刻工艺开发；
2）绝缘衬底上多层亚微米结构电子束光刻工艺开发；
3）绝缘衬底上微米级厚度结构电子束光刻工艺开发。
8.0005（万元）
四、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
五、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
项目负责人：乔大勇
电 话：19162871218
